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Beschreibung
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für EMS. Ziel ist es, Studierenden… der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Technische Daten
Erscheinungsdatum
28.07.2005
Sprache
Deutsch
Originalsprache
Deutsch
EAN
9783519005209
Herausgeber
Vieweg & Teubner
Sonderedition
Nein
Autor
Markus Glück
Seitenanzahl
212
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
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