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Electron Beam Testing Technology
(Gebundene Ausgabe, Englisch)
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Beschreibung
Although exploratory and developmental activity in electron beam testing (EBT) 25 years, it was not had already been in existence in research laboratories for over until the beginning of the 1980s that it was taken up seriously as a technique for integrated circuit (IC) testing. While ICs were being fabricated on design rules of several microns, the mechanical ne edle probe served quite adequately… for internal chip probing. This scenario changed with growing device complexity and shrinking geometries, prompting IC manufacturers to take note ofthis new testing technology. It required several more years and considerable investment by electron beam tester manufacturers, however, to co me up with user-friendly automated systems that were acceptable to IC test engineers. These intervening years witnessed intense activity in the development of instrumentation, testing techniques, and system automation, as evidenced by the proliferation of technical papers presented at conferences. With the shift of interest toward applications, the technology may now be considered as having come of age. Dieses Produkt haben wir gerade leider nicht auf Lager.
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
31.07.1993
Sprache
Englisch
EAN
9780306443602
Herausgeber
Springer US
Serien- oder Bandtitel
Microdevices
Sonderedition
Nein
Seitenanzahl
462
Auflage
1993
Einbandart
Gebundene Ausgabe
Einbandart Details
Fadenbindung
Schlagwörter
Signal, electron optics, integrated circuit, material, optics, testing
Thema-Inhalt
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie
TGMT - Werkstoffprüfung
THR - Elektrotechnik
TGMM - Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien
Höhe
254 mm
Breite
17.8 cm
Hersteller: Springer Us, ProductSafety@springernature.com, Springer Nature Customer Service Center GmbH
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