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Der Umwelt zuliebe
Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon
Peter Pichler (Taschenbuch, Englisch)
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Beschreibung
Basically all properties of semiconductor devices are influenced by the distribution of point defects in their active areas. This book contains the first comprehensive review of the properties of intrinsic point defects, acceptor and donor impurities, isovalent atoms, chalcogens, and halogens in silicon, as well as of their complexes. Special emphasis is placed on compiling the structures,… energetic properties, identified electrical levels and spectroscopic signatures, and the diffusion behavior from experimental and theoretical investigations. In addition, the book discusses the fundamental concepts of silicon and its defects, the electron system, diffusion, thermodynamics, and reaction kinetics which form the scientific basis needed for a thorough understanding of the text. Therefore, the book is able to provide an introduction to newcomers in this field up to a comprehensive reference for experts in process technology, solid-state physics, and simulation of semiconductor processes. 320,99 €
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Der Umwelt zuliebe
Technische Daten
Erscheinungsdatum
01.11.2012
Sprache
Englisch
EAN
9783709172049, 9783709172049
Herausgeber
Springer Wien
Serien- oder Bandtitel
Computational Microelectronics
Sonderedition
Nein
Autor
Peter Pichler
Seitenanzahl
554
Auflage
1
Einbandart
Taschenbuch
Schlagwörter
Semiconductor, acceptor and donor impurities, chalcogens, halogens, isovalent atoms, semiconductor devices, simulation, tables, thermodynamics
Thema-Inhalt
TJF - Elektronik
PHFC - Physik der kondensierten Materie (Flüssigkeits- und Festkörperphysik)
PNFS - Spektroskopie, Spektrochemie, Massenspektrometrie
TGMM - Technische Anwendung von elektronischen, magnetischen, optischen Materialien
Höhe
254 mm
Breite
17.8 cm
Hersteller: Springer Nature Customer Service Center GmbH, Europaplatz 3, Heidelberg, Deutschland, 69115, ProductSafety@springernature.com
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